单轴挠性位移台，行程5 mm

差分调节器位移范围：5 mm

选用的20 μm压电驱动

NFL5DP20(/M)：开环工作

NFL5DP20S(/M)：有应变计，用于闭环工作

尺寸紧凑：边长为3.00英寸(75 mm)，厚度1.18英寸(30 mm)

XYZ轴都可配置

• NFL5DP20(/M)开环位移台与KPZ101控制器组合出售(详情请看组合套件标签)

在尽可能保证稳定性的情况下，NanoFlex™ 5 mm行程的单轴复合挠性位移台能提供超平滑的移动，适合对在线性负载中的固有错误要求十分严格的应用。复合线性挠性设计保证了位移台能在整个移动范围内提供真实零串扰的线性移动。这种特性不需要使用要求控制接触的部件来维持其运作就能实现；所有的运动都是由位移台内的各种挠性部件实现的。这些特性保证了位移台性能即便在严酷的环境下也不会受到影响。

这些位移台可以通过下述的NFL5P1(/M)底板和NFL5P2(/M)角度托架堆叠而形成2轴或3轴配置。提供一条3 m长的压电驱动器接线(SMC转SMC)，以及一条3 m长的反馈接线(LEMO转LEMO)。接口的详细信息，请参见引脚图标签。

请参看上面的规格标签，了解更多细节信息，如兼容的控制器等。我们提供附带控制器的NFL5DP20(/M)位移台组合套装，*。有关该组合套件的信息，请看组合套件标签。电源不附带，兼容的电源在下方单独出售。

单轴挠性位移台，行程5 mm

规格