高阻尼空气隔振系统MaxDamp

MaxDamp®将Gimbal Piston空气隔振器与内部防篡改粘性阻尼相结合，为此类应用提供了额外的阻尼。MaxDamp虽然不能提供我们UltraDamp系列的主动、最高阻尼，但当需要较高阻尼时，它却是一个好的选择，其减振性能只略有减弱。MaxDamp适用于需要快速稳定有效载荷的高力、高速XY电动工作台的有效载荷。适用于半导体检测、光刻机以及其他具有相对较高力的电动工作台的仪器。

优点：

结合了自调平Gimbal Piston™空气隔振器的优势，并具有高阻尼作用

非常适合具有机器人运动或电动工作台的有效载荷，可提供所需的隔振并主动稳定有效负载引起的运动

更快的工具吞吐量和更高的产量

从3 Hz开始的水平和垂直隔振

共振的最小放大（8-12 dB）

模块化设计。可升级到Electro-Damp®主动消振

特点：

• 更快的有效负载稳定时间。

• LCD和半导体制造和检测工具的生产率更快、产量更高。

• 在保持高隔振性能的同时，隔振表面有“更硬"的手感。

• 由气流、噪音以及所产生的“机上"力引起的振动较小。

比较GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之间的阻尼水平

高阻尼空气隔振系统MaxDamp

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